頂點光電子商城2023年11月21日消息:近日,中導光電設備股份有限公司納米級圖形晶圓缺陷光學檢測設備(NanoPro-150)再次交付客戶。
納米級圖形晶圓缺陷光學檢測設備是一種用于檢測半導體前道圖形晶圓缺陷的高精度設備。這種設備利用光學原理對晶圓表面進行檢測,以發(fā)現(xiàn)并分析存在的缺陷。在半導體制造過程中,這種設備對于提高芯片制造的質(zhì)量和效率具有至關重要的作用。
具體來說,納米級圖形晶圓缺陷光學檢測設備通過高精度的光學系統(tǒng),對半導體晶圓的表面進行掃描。當光線照射到晶圓表面時,如果表面存在缺陷,那么光線就會發(fā)生反射或散射,從而被檢測設備捕捉到。通過這種方式,檢測設備能夠發(fā)現(xiàn)并分析晶圓表面的各種缺陷,如顆粒、劃痕、凹坑等。
納米級圖形晶圓缺陷光學檢測設備具有高精度、高效率和高可靠性的特點。由于其采用了納米級別的檢測技術,因此能夠檢測出微小的缺陷,這對于提高半導體芯片的質(zhì)量和性能具有重要意義。此外,這種設備還能夠?qū)崿F(xiàn)自動化檢測,減輕了人工檢測的勞動強度,提高了生產(chǎn)效率。
在半導體制造領域,納米級圖形晶圓缺陷光學檢測設備是一種重要的質(zhì)量保證工具。它能夠有效地發(fā)現(xiàn)并分析半導體晶圓表面的缺陷,從而保證了半導體芯片的質(zhì)量和性能。隨著半導體技術的不斷發(fā)展,這種設備的技術水平和應用范圍也在不斷進步和擴大。
中導光電設備股份有限公司是一家中國的高技術專業(yè)裝備公司,為平板顯示產(chǎn)業(yè)上游及下游制造產(chǎn)線提供先進精密光學檢測主設備。該公司于2006年11月17日在肇慶市工商行政管理局登記成立,法定代表人為BO LI。公司的經(jīng)營范圍包括研究、開發(fā)、生產(chǎn)、銷售各類液晶屏檢測設備等。