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頂點(diǎn)光電子商城2022年2月15日消息，TRUMPF（德國(guó)通快集團(tuán)）最近成功進(jìn)行了第200臺(tái)用于EUV光刻機(jī)的光源設(shè)備出貨。
EUV光刻機(jī)，顧名思義就是需要用到EUV，也就是極紫外線，來(lái)進(jìn)行雕刻的器件。獲取EUV的方法是，通過(guò)錫發(fā)生器向真空室內(nèi)每秒發(fā)射5萬(wàn)滴錫珠，這些錫珠被激光脈沖擊中，就會(huì)電力產(chǎn)生高強(qiáng)度的等離子體，同時(shí)產(chǎn)生波長(zhǎng)為13.5nm的EUV光。EUV光刻機(jī)就是通過(guò)這一過(guò)程收集EUV光，再經(jīng)過(guò)反射裝置將其輸送到雕刻部位，對(duì)晶圓刻畫(huà)圖形。
這其中的關(guān)鍵就是能使錫珠電離的激光脈沖。TRUMPF在其現(xiàn)有的二氧化碳激光技術(shù)的基礎(chǔ)上，開(kāi)發(fā)出了一套激光放大設(shè)備。這套放大設(shè)備的核心組件有高功率放大鏈路、光學(xué)平臺(tái)FFA、高功率種子模塊和光束傳輸系統(tǒng)等。這套激光放大設(shè)備有5個(gè)放大過(guò)程，總計(jì)可以將一束激光放大一萬(wàn)次，即使是一束較小功率的激光，經(jīng)過(guò)這套放大設(shè)備的放大之后，輸出的激光平均脈沖功率可以達(dá)到30000W，脈沖峰值功率甚至超過(guò)兆瓦。
通快集團(tuán)生產(chǎn)車間
從2015年開(kāi)始，EUV光刻機(jī)巨頭ASML開(kāi)始向TRUMPF采購(gòu)配件，也是從那時(shí)開(kāi)始，TRUMPF就變成了EUV光刻機(jī)的配件供應(yīng)商。
TRUMPF鞏固自己的江湖地位還要從收購(gòu)大通激光（Access Laser）開(kāi)始。大通激光是靠研發(fā)CO2激光器起家，在這一領(lǐng)域積累了深厚的技術(shù)。2017年，TRUMPF收購(gòu)了85%的大通激光股權(quán)，利用其在定制激光器領(lǐng)域的技術(shù)積累，加速在EUV相關(guān)配件設(shè)備方面的研發(fā)，最終成為EUV光刻機(jī)光源的獨(dú)家供應(yīng)商。
大通激光器
據(jù)公開(kāi)披露的信息，TRUMPF在2020年7月1日－2021年6月30日（2021財(cái)年）實(shí)現(xiàn)營(yíng)收月39.26億歐元（折合美元約44.45億美元），其中，EUV業(yè)務(wù)營(yíng)收5.3億歐元，占比13.5%。2022財(cái)年，TRUMPF預(yù)計(jì)在EUV業(yè)務(wù)上的營(yíng)收將達(dá)到6億歐元。
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