頂點(diǎn)光電子商城2022年6月20日消息：佳能將于2022年8月初發(fā)售KrF半導(dǎo)體光刻機(jī)“FPA-6300ES6a”的“Grade10”產(chǎn)能升級配件包（以下簡稱“Grade10”升級包）。
佳能半導(dǎo)體光刻機(jī)“FPA-6300ES6a”
佳能是日本的一家全球領(lǐng)先的生產(chǎn)影像與信息產(chǎn)品的綜合集團(tuán)，從1937年成立以來，經(jīng)過多年不懈的努力，佳能已將自己的業(yè)務(wù)全球化并擴(kuò)展到各個領(lǐng)域。佳能的產(chǎn)品系列共分布于三大領(lǐng)域：個人產(chǎn)品、辦公設(shè)備和工業(yè)設(shè)備，主要產(chǎn)品包括照相機(jī)及鏡頭、數(shù)碼相機(jī)、打印機(jī)、復(fù)印機(jī)、傳真機(jī)、掃描儀、廣播設(shè)備、醫(yī)療器材及半導(dǎo)體生產(chǎn)設(shè)備等。佳能總部位于日本東京，并在美洲、歐洲、亞洲及日本設(shè)有4大區(qū)域性銷售總部，在世界各地?fù)碛凶庸?00家，雇員超過10萬人。
“重復(fù)步進(jìn)并多次掃描曝光”的裝置稱為“步進(jìn)掃描光刻機(jī)”，該裝置通過控制掩模臺與工作臺的同步運(yùn)動的方式實(shí)現(xiàn)曝光動作。由于步進(jìn)式掃描光刻機(jī)的掃描儀可以在掃描操作中覆蓋曝光視角，因此其主要優(yōu)點(diǎn)是易于通過調(diào)整鏡頭的有效區(qū)域來擴(kuò)大數(shù)值孔徑（NA, Numerical aperture），并在鏡頭像差較小的部分進(jìn)行曝光，從而更好地抑制曝光失真，帶來高精度曝光。
據(jù)介紹，KrF 半導(dǎo)體光刻機(jī)“FPA-6300ES6a”自發(fā)售至今，已經(jīng)在生產(chǎn)存儲器和邏輯電路的大型半導(dǎo)體器件制造廠商中收獲良好口碑。新發(fā)布的“Grade10”升級包能夠在 300mm 晶圓規(guī)格基礎(chǔ)上，實(shí)現(xiàn)每小時 300 片晶圓的高效率生產(chǎn)。此外，這一升級包將于 2023 年在 KrF 半導(dǎo)體光刻機(jī)“FPA-6300ES6a”的 200mm 兼容設(shè)備上得到應(yīng)用。
投入工廠運(yùn)行的“FPA-6300ES6a”設(shè)備
新發(fā)布的“Grade10”升級包能夠在300mm晶圓規(guī)格基礎(chǔ)上，實(shí)現(xiàn)每小時300片晶圓的高效率生產(chǎn)。此外，這一升級包將于2023年在KrF半導(dǎo)體光刻機(jī)“FPA-6300ES6a”的200mm兼容設(shè)備上得到應(yīng)用。 對于已經(jīng)在半導(dǎo)體器件制造廠商中投入使用的KrF半導(dǎo)體光刻機(jī)“FPA-6300ES6a”*6，無需更換設(shè)備即可通過使用“Grade10”升級包進(jìn)一步提高生產(chǎn)效率。
佳能公司自1937年創(chuàng)業(yè)以來，始終秉承"共生"的企業(yè)理念，以創(chuàng)造世界一流產(chǎn)品為奮斗目標(biāo)，向多元化和全球化發(fā)展。目前， 佳能的事業(yè)以光學(xué)技術(shù)為核心，涵蓋了影像系統(tǒng)產(chǎn)品、辦公產(chǎn)品以及產(chǎn)業(yè)設(shè)備等廣泛領(lǐng)域。位于東京的集團(tuán)總部與美洲、歐洲、 亞洲和大洋洲的各區(qū)域總部緊密聯(lián)系，構(gòu)筑了全球化與本土化有機(jī)結(jié)合的經(jīng)營體制。
如今，在半導(dǎo)體、液晶面板以及有機(jī)EL板等高科技制造業(yè)領(lǐng)域，佳能正在加快向亞洲生產(chǎn)基地、尤其是向中國市場的投資轉(zhuǎn)移。
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