頂點光電子商城2025年3月28日消息:近日,由西湖大學(xué)孵化的西湖儀器(杭州)技術(shù)有限公司(以下簡稱西湖儀器)成功實現(xiàn)12英寸碳化硅襯底自動化激光剝離,解決了12英寸及以上超大尺寸碳化硅襯底切片難題。
與傳統(tǒng)的硅材料相比,碳化硅具有更寬的禁帶能隙,以及更高的熔點、電子遷移率和熱導(dǎo)率。其能夠在高溫、高電壓條件下穩(wěn)定工作,已成為新能源和半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)迭代升級的關(guān)鍵材料,在電動汽車、光伏發(fā)電、智能電網(wǎng)、無線通信等領(lǐng)域擁有廣闊應(yīng)用前景。
此前,西湖儀器已率先推出8英寸導(dǎo)電型碳化硅襯底激光剝離設(shè)備。為響應(yīng)最新市場需求,西湖儀器迅速推出超大尺寸碳化硅襯底激光剝離技術(shù),將超快激光加工技術(shù)應(yīng)用于碳化硅襯底加工行業(yè),完成了相關(guān)設(shè)備和集成系統(tǒng)的開發(fā)。
超大尺寸碳化硅襯底激光剝離技術(shù)可大幅縮短襯底出片時間,適用于未來超大尺寸碳化硅襯底的規(guī)?;慨a(chǎn),有助于加速超大尺寸碳化硅襯底技術(shù)的研發(fā)迭代,進一步促進行業(yè)降本增效。