山東有研艾斯半導體材料有限公司成立于2020年3月11日，由大型中央企業(yè)有研科技集團有限公司、德州匯達半導體股權(quán)投資基金合伙企業(yè)（德州政府出資）和有研半導體硅材料股份公司共同出資，注冊資本20億元人民幣。主要從事12英寸大直徑硅片的研發(fā)、生產(chǎn)、銷售和再生片的生產(chǎn)加工。 2020年4月，山東艾斯設(shè)立北京研發(fā)中心，位于北京市順義區(qū)雙河大街，將匯聚高端研發(fā)人員，解決12英寸硅片關(guān)鍵性技術(shù)問題，實現(xiàn)工程化目標，并進行批量生產(chǎn)。 山東有研艾斯承擔了山東省重點投資項目“12英寸集成電路用大硅片產(chǎn)業(yè)化項目”，該項目順利通過國家發(fā)改委和工信部窗口指導，列入國家集成電路產(chǎn)業(yè)整體規(guī)劃。項目建成后，德州將成為北方最大的半導體硅材料產(chǎn)業(yè)基地，實現(xiàn)12吋拋光片月產(chǎn)能30萬片，技術(shù)水平達到28-7nm，解決我國12英寸硅片長期“卡脖子”難題。
近日，山東有研艾斯半導體材料有限公司12英寸集成電路用大硅片產(chǎn)業(yè)化項目迎來進展。
該項目已基本完成90%，主體廠房外墻和主體裝修都已完成，現(xiàn)在是潔凈系統(tǒng)安裝階段，6月整個項目各種系統(tǒng)就能聯(lián)動起來，具備工藝設(shè)備搬入條件。
有研艾斯項目總投資62億元，第一階段投資25億元。德州天衢新區(qū)消息顯示，項目第一階段于2022年6月開工建設(shè)，預(yù)計今年10月份通線量產(chǎn)。兩階段投資完成并達產(chǎn)后可形成年產(chǎn)360萬片12英寸硅片的產(chǎn)能，全國市場占有率達20%。
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